213家集成电路企业集聚 合肥高新区装备环节再补一环

御微半导体量检测产业园项目位于合肥高新区柏堰湾路与火龙地路交口东南角，总投资约10亿元，占地约50亩，规划总建筑面积约7万平方米，拟建设半导体量检测设备生产基地，预计2028年投产。

从开工到投产约两年建设周期，项目将围绕量检测设备的整机装配、光学与精密运动模块集成、调试验证和出货配套等环节建设产线，并配套必要的研发、办公和辅助空间。

精密装备制造对洁净度、振动控制、温湿度环境要求苛刻，独立产业园意味着御微告别了在办公楼里「螺蛳壳里做道场」的阶段，规模化制造能力有了专属承载空间。

御微半导体聚焦集成电路光学量检测系统设计与系统集成，围绕芯片制造、掩模制造、晶圆衬底制造、基板制造四大领域形成九大类量测及检测产品。

2026年8月，其覆盖90nm至28nm制程节点的掩模图形缺陷检测设备Raptor-600发运国内头部晶圆厂；9月Raptor-700顺利发运；10月，覆盖先进制程的掩模基板缺陷检测设备Halo-300交付国内头部掩模基板厂。

量检测设备在半导体设备支出中占比可观，且长期由少数海外厂商主导。国产设备能否批量进入中高端制程供应链，正是本轮扩产潮里含金量较高的一条主线。

依托成熟的产业基底，合肥高新区已构建起研发设计、制造、封测及模组、装备材料和配套服务的完整产业链，集聚集成电路重点产业链企业213家，约占全市六成，产业链营收超200亿元。

下一步，高新区将聚焦化合物半导体、特色工艺、先进封装等高端制造和装备材料、端侧AI、光互连、汽车电子等设计赛道，强化要素保障与供需对接。

对招商城市而言，御微这类项目的价值在于「链式效应」：整机厂落位会牵引光学镜头、精密运动平台、传感器等上游配套跟进，装备材料的集群厚度由此一层层垒起来。

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