一、产业链布局选址逻辑

（一）选址倾向：靠近半导体产业集群

优先布局区域：长三角半导体产业带（上海、无锡、苏州）、珠三角集成电路产业基地（深圳、珠海）、海峡两岸集成电路产业合作区（厦门、福州）。

产业协同效应：靠近芯片设计企业可缩短交片周期，毗邻封装测试厂商可形成产业集聚效应。

（二）产业链配套要求

上游配套：需靠近硅片供应商（沪硅产业、中环股份）、光刻胶厂商、电子级化学品供应商。

下游配套：配套芯片设计企业、封装测试厂商、消费电子制造商。

服务配套：周边需有半导体设备维护机构、特种气体供应商、废水处理中心。

（三）珠海高新区产业链优势

珠海高新区已形成集成电路产业集群，聚集了炬芯科技、杰理科技、英集芯等芯片设计龙头企业。

园区配套有珠海市集成电路产业发展平台、南方软件园等公共服务平台，形成"设计-制造-封装"协同发展格局。

二、厂房硬件指标要求

（一）建筑结构要求

层高：洁净厂房层高≥5.0米，设备层≥6.0米，支持层≥4.5米。

承重：洁净区地面承重≥1.5吨/平方米，设备区≥3吨/平方米。

结构形式：采用钢筋混凝土框架结构，洁净区采用独立柱网设计。

（二）洁净室要求

洁净等级：光刻区ISO Class 1级（百级洁净），刻蚀区Class 10级，扩散区Class 100级。

温湿度：温度22±0.5°C，相对湿度45%-55%，温度波动≤±0.1°C/小时。

洁净室风速：单向流洁净室风速≥0.3m/s，非单向流洁净室换气次数≥20次/小时。

（三）配电要求

供电容量：1000-2000kW/千平方米，先进制程需1500-2000kW/千平方米。

双回路供电：需配备独立双回路110kV或10kV电源，确保供电连续性。

UPS配置：配备N+1冗余UPS系统，后备时间≥30分钟，保护关键设备。

接地系统：设备接地电阻≤1Ω，静电接地电阻≤10Ω。

（四）特种气体供应要求

惰性气体：氮气纯度≥99.9999%（PPT级别），供应压力0.4-0.6MPa。

工艺气体：氢气、氧气、氩气、硅烷、氨气等，配备专用气瓶柜和管道系统。

气体安全：配备气体泄漏检测系统、紧急切断阀、惰性气体报警装置。

（五）纯水与废水要求

纯水系统：配备18.2MΩ·cm超纯水系统，水质达到GB/T 11446.1-2013 EW-Ⅰ标准。

废水处理：配备生产废水处理系统，处理能力≥500吨/天，分流收集各类废水。

回收利用：配备水资源回收系统，水回用率≥75%。

（六）环保与安全

废气处理：配备酸性废气、碱性废气、有机废气处理系统，达标排放。

消防系统：配备气体灭火系统（IG-541、七氟丙烷）、自动喷水灭火系统。

地震防护：设备基础采用抗震设计，抗震设防烈度≥7度。

三、珠海高新区政策支持

建设补贴：对集成电路制造项目建设给予蕞高2亿元补贴，按投资额的20%给予资助。

研发补贴：对先进制程研发项目给予蕞高5000万元补贴，按研发投入的30%给予资助。

人才政策：对半导体领域高端人才给予住房补贴、子女教育、配偶就业等配套服务。

四、联系方式

招商热线：135 246 78 515

珠海高新区投资促进中心

数据来源：珠海市人民政府官网（http://www.zhuhai.gov.cn）、珠海高新区官网（http://www.zhuhai-hitech.gov.cn）、《珠海市集成电路产业发展规划（2023-2030年）》

本宣传资料仅供参考，不作为要约或承诺。本文经AI人工智能辅助撰写。

珠海高新区招商引资  葛部长 135 246 78 515

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