基础设施硬件要求

化合物半导体制造对超纯水供应要求极高，需配备专业水处理系统（RO+EDI+抛光混床），水质需达到18.2MΩ·cm（25°C），TOC≤10ppb，颗粒≤10个/ml。珠海高新区集成电路产业园配套建设了专业超纯水供应系统，日供水能力达1000吨，满足GaN、SiC外延片生产需求。

厂房需配套高纯气体供应系统，包括氮气（99.9999%）、氩气（99.999%）、氢气（99.9999%）、氨气（99.999%）等特种气体。园区建设了气体供应中心，采用分布式供气模式，配备气体纯化装置和在线监测系统。

电力供应需满足高精密设备需求，配备110kV专用变电站，供电容量达80MW，采用双回路供电，可靠性≥99.99%。配备UPS不间断电源（后备时间≥10分钟）和柴油发电机组，确保生产连续性。

厂房层高≥6.5米，洁净区吊顶高度≥2.8米，地面承重≥800kg/㎡，满足MOCVD等重型设备安装要求。预留设备搬运通道（宽度≥3.5米）和吊装口（尺寸≥2.5×3.5米）。

排气系统需配备专业废气处理设备，处理能力≥3000立方米/小时，确保VOCs、酸性气体达标排放。配备特气泄漏检测系统和紧急排风装置，保障生产安全。

环保要求

化合物半导体制造过程涉及金属有机化合物等危险化学品，需严格遵守危化品管理规定。园区配备专业危化品仓库和管理团队，确保危化品安全存储和使用。

废气处理需配置专业净化设备，确保VOCs、酸性气体等达标排放。园区建设了集中废气处理设施，处理能力达5000立方米/小时。

废水需经过专业处理，去除重金属离子和有机污染物后才能排放。园区配套建设了专业废水处理设施，处理能力达3000吨/日。

产业协同考量

选址应靠近下游应用企业，如新能源汽车、5G通信设备制造商，便于产品测试和交付。珠海高新区聚集了比亚迪、小鹏汽车等新能源汽车企业，形成产业协同。

周边配套有专业的半导体检测、封装服务企业，形成完整产业链。珠海元盛电子科技股份有限公司、珠海芯耀辉科技有限公司等企业提供配套服务。

珠海市人民政府出台《珠海市半导体产业发展规划（2023-2030年）》，计划到2030年化合物半导体产业产值突破300亿元，打造具有竞争力的产业集群。

招商热线：135 246 78 515

珠海高新区投资促进中心

数据来源：珠海高新区官网（www.zhuhai-hitech.gov.cn）、珠海市人民政府（www.zhuhai.gov.cn）

本宣传资料仅供参考，不作为要约或承诺。本文经AI人工智能辅助撰写。

珠海高新区招商引资  葛部长 135 246 78 515